高纯度甲基三氯硅烷 (MTS)

甲基三氯硅烷是一种无色、高度挥发性液体,具有刺激性气味。作为一种关键的有机硅单体,它的特点是对水分和醇具有高反应活性,生成盐酸和硅烷醇中间体。

物理和化学性质

  •  裂解反应:与水快速反应生成盐酸和聚硅氧烷。

  • 醇解反应:与醇反应形成烷氧基硅烷。

  • 与氨/氨反应:氨基硅烷的形成。

  •  还原性:可被氢化铝锂 (LiAlH₄) 还原为甲基硅烷 (CH₃SiH₃)

  •  耐热性:它可能在高温(> 300°C)下裂解,释放出HCl或形成硅氧烷。





应用

半导体行业:碳化硅 (SiC) 薄膜和低 K 介电层的化学气相沉积 (CVD) 前驱体。

有机硅合成:交联有机硅、树脂和疏水涂料的构建单元。

表面处理:赋予玻璃、陶瓷和填料防水性。

气相二氧化硅生产:制造高纯度二氧化硅纳米颗粒的中间体。

包装和储存

容器采用316L不锈钢材质,容量有45L、250L、900L三种尺寸可供选择,分别可容纳45kg、250kg、1000kg。 VCR接口阀有1/2"和1/4"两种规格。我们还根据客户的具体要求提供不同的包装和接口,包括ISO-TANK。

技术指标

成分/杂质名称 产品规格 

纯度≥99.99%(以金属杂质计) 

三甲基氯硅烷<100ppm 

四氯化硅<100ppm 

金属杂质总量<10 ppm 

欲了解更多信息 请参阅安全数据表 (MSDS)、产品安全数据表和产品检验报告 联系我们


浩康证书


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